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ulvac真空計的故障排除

發(fā)布時間:2022-10-18 點擊量:1479

ulvac真空計的故障排除

使用注意事項

1.由于靈敏度是用氮氣校準的,如果殘留氣體的主要成分不是氮氣,則顯示值與實際壓力不同。

2.當測量含有氧氣或水蒸氣的氣體時,燈絲會迅速反應(yīng)并劣化。
   為了減少消耗,要么降低發(fā)射電流,要么使用具有三層涂層表面的燈絲。

3.在測量10 -4 Pa 或更低的壓力時,需要對探頭本身進行脫氣。
   開始脫氣時,大量釋放的氣體會增加壓力,反過來可能會污染探頭。請務(wù)必在 10 -4 Pa 以下進行脫氣。

4.請注意,在高壓(三極管型:10 -1 Pa 或更高)下連續(xù)使用會導致燈絲快速磨損,從而無法獲得恒定的發(fā)射電流。

故障檢查清單

1.探頭燈絲不亮
2.探頭燈絲發(fā)出異常光(燈絲瞬間亮后熄滅54.燈絲亮但不顯示壓力
3.比平時亮)指示值波動6.指示值與預期壓力明顯不同7.未輸出設(shè)定值信號

1.寫筆燈絲不亮

原因解決方法
斷絲接點更換
探頭電纜斷開探頭電纜的維修和更換
由于高壓用皮拉尼真空計等檢查壓力。
燈絲選擇開關(guān)設(shè)置錯誤選擇正確的燈絲

2.探頭燈絲發(fā)出異常光(比平時亮)

原因解決方法
探頭電纜斷開探頭電纜的維修和更換
控制器故障要求維修
接觸點劣化接點更換

3.燈絲亮但不顯示壓力

原因解決方法
探頭電纜斷開探頭電纜的維修和更換
控制器故障要求維修

4.燈絲亮片刻,然后快速熄滅

原因解決方法
保護電路工作是因為被測壓力很高。用皮拉尼真空計等檢查壓力。
控制器故障要求維修

5.指標波動

原因解決方法
探頭或連接探頭的連接處出現(xiàn)真空泄漏更換手寫筆或改善連接處的真空泄漏
觸控筆上的污染接點更換
探頭電纜在振動如果探頭電纜不斷振動,指示值可能會因探頭電纜內(nèi)部的摩擦電動勢而波動,因此請重新考慮電纜安裝方法。

6.指示值與預期壓力有顯著差異

原因解決方法
發(fā)生漏電流因接觸點臟污和接觸點電纜絕緣不良而更換。
?靈敏度系數(shù)設(shè)置不正確
?被測氣體不是氮氣或空氣。
根據(jù)手冊正確設(shè)置
壓力實際上與預期不同與其他真空計檢查

7.無設(shè)定點信號輸出

原因解決方法
更換控制器中的繼電器繼電器損壞 → 要求維修
發(fā)射電流失控如果發(fā)射變?yōu)?NG,設(shè)定值信號的輸出也會被取消 → 更換測針

8.停止發(fā)射電流流動的原因及對策

原因解決方法
高壓(10 -1 Pa 或更高)排氣系統(tǒng)檢查
斷絲接點更換
燈絲磨損接點更換
觸控筆內(nèi)部有污垢接點更換
探頭電纜接觸不良/斷開重新連接或更換探頭電纜
控制器電源電路故障要求維修


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