日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)

產(chǎn)品型號(hào)： SC系列SC-701MkⅡ

所屬分類：其他設(shè)備

產(chǎn)品時(shí)間：2024-09-09

簡(jiǎn)要描述：日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC系列SC-701MkⅡ
直流濺射類別中系列中小的超緊湊機(jī)型
配備皮拉尼真空計(jì)，以確保成膜條件的可重復(fù)性
配備手動(dòng)百葉窗作為標(biāo)準(zhǔn)裝備

詳細(xì)說(shuō)明：

日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC系列SC-701MkⅡ

特征

應(yīng)用/結(jié)果示例

日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC系列SC-701MkⅡ

基本規(guī)格

陰極	φ2英寸直流磁控管/平板型電極
適用對(duì)象	金/鉑/金-鈀/鉑-鈀/銀/鈀/鎢/鎳/鉬/鉻/鈦/鋁
壓力測(cè)量	皮拉尼真空計(jì)
壓力控制	針閥手動(dòng)控制引入直徑外徑φ6mm一鍵式安裝
工藝氣體	氬氣
真空泵	直聯(lián)式旋轉(zhuǎn)泵：20L / min（帶自動(dòng)泄漏）
箱體尺寸	內(nèi)徑φ90×D90mm（SUS制）
樣品交換方法	前門開合式
尺寸（寬/深/高）	機(jī)身：160/450 / 290mm RP：295.5 / 156 / 199.5mm
重量	身體：9公斤RP：9公斤

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